杏彩登录注册网页版:安集科技获得发明专利授权:“一种化学机械抛光液及其

2024-04-18 07:33:24 1

  证券之星消息,根据企查查数据显示安集科技(688019)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种化学机械抛光液及其使用方法”,专利申请号为CN1.5,授权日为2024年3月12日。

  专利摘要:本发明旨在提供一种用于含碳材料的抛光液及其使用方法。所述化学机械抛光液,包含磨料、氧化剂和有机膦酸,该抛光液在维持较高的含碳材料去除速率的同时,避免抛光过程的副产物在抛光垫上沉积,延长了抛光垫的使用寿命,降低了抛光后晶圆表面的缺陷。

  今年以来安集科技新获得专利授权1个。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.01亿元,同比增34.82%。

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