杏彩登录注册网页版:安集科技获得发明专利授权:“一种化学机械抛光液”

2024-04-18 07:31:04 1

  证券之星消息,根据企查查数据显示安集科技(688019)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种化学机械抛光液”,专利申请号为CN5.5,授权日为2024年4月12日。

  专利摘要:本发明提供一种化学机械抛光液,包括二氧化硅研磨颗粒、腐蚀、络合剂、氧化剂、金属表面缺陷改善剂、磷酸酯类表面活性剂和水。本发明的化学机械抛光液可应用于金属铜互连的抛光,对铜的去除速率高,对钽的去除速率低,从而具有较高的铜/钽去除速率选择比,改善抛光后铜线的碟型凹陷和介质层凹陷,同时改善抛光后铜表面粗糙度,减少缺陷。

  今年以来安集科技新获得专利授权3个。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.01亿元,同比增34.82%。

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