>杏彩登录注册网页版·
的必要方式,然而研磨会导致芯片表面的完整性变差。因此,抛光的一致性、均匀性和表面粗糙度对生产芯片来说是十分重要的。
近日,第九届国际第三代&第二十届中国国际半导体照明论坛于厦门召开。期间,“碳化硅衬底、外延生长及其相关设备技术”分会上,北京国瑞升科技集团股份有限公司高级工程师苑亚斐 做了“碳化硅衬底粗研磨和精研磨工艺及耗材技术”的主题报告并就公司研发的碳化硅衬底研磨抛光新工艺、新产品进行探讨交流。
第三代半导体材料,以碳化硅和氮化镓为代表,针对这两种材料的研磨和抛光,国瑞升可提供全套的产品和整体的解决方案,可向衬底客户提供化合物半导体粗磨液、精磨液、粗抛液和CMP抛光液;可向后道外延芯片背面减薄客户提供减薄耗材产品,以及匹配的粗抛垫和精抛垫。
报告指出,新工艺优化路线主要是提高效率、减少工序、保证表面效果。碳化硅衬底粗抛和精抛涉有的主要产品有:粗抛涉及氧化铝抛光液、金刚石抛光液、纳米金刚石抛光液,精抛涉及双组份抛光液、高效抛光液。SiC研磨抛光用相关耗材,涉及双面研磨用悬浮液,金刚石研磨液(单晶、类多晶、多晶),氧化铝粗抛液(酸性、碱性),双面研磨用悬浮剂,双组份精抛液,高效精抛液,CMP抛光液,固态蜡等。
05-11
杏彩登录注册网页 我这是……穿越到了盛世大唐还做了县主?
杜甫说,长安水边多丽人。这些丽人当中有一位金乡县主甚是有名。金乡县主?开国皇帝李渊的孙
05-11
杏彩登录注册网页 石材掉光后变暗如何进行工艺抛光处理
石材作为一种常见的建筑材料,以其坚固、耐磨、美观等特性广泛应用于室内外装饰。然而,随着
05-11
杏彩登录注册网页 磁力抛光机对CNC加工件的抛光效果及应用
首先磁力抛光机是一种利用高速旋转磁场引导磁针在清水和抛光液介质中对工件进行高频冲击的设
05-11
杏彩登录注册网页 磁力抛光机处理不锈钢刀纹技术详解
目前市场上很多不锈钢刀纹形成主要是制造过程中形成的,如铸造、热处理、焊接等工艺,如果操