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清华大学申请全玻璃原子气室及其制备方法专利,该方法适用于多种结构的微小型原子气室的制备,且工艺流程简单,获得的全玻璃原子气室可以实现六面通光
金融界2024年3月9日消息,据国家知识产权局公告,清华大学申请一项名为“全玻璃原子气室及其制备方法“,公开号CN117658478A,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,本发明属于原子光学领域,提供一种全玻璃原子气室及其制备方法。该方法包括以下步骤:(1)提供玻璃基板、第一玻璃和第二玻璃;(2)采用激光切割及湿法蚀刻工艺对玻璃基板进行加工,以在玻璃基板上形成气室通孔、内部沟道和气孔通孔;(3)对玻璃基板的第一表面和第二表面进行抛光;(4)在抛光后的第一表面和第二表面上分别键合第一玻璃和第二玻璃;(5)在气孔通道上连接加注管;(6)通过加注管抽真空,并加注碱金属原子,使碱金属原子进入到气室中;(7)对加注管进行密封,以形成全玻璃原子气室。该方法适用于多种结构的微小型原子气室的制备,且工艺流程简单,获得的全玻璃原子气室可以实现六面通光。
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